聚酰亚胺前体组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、半导体器件及聚酰亚胺前体组合物的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680030632.X

申请日：

2016-05-26

公开(公告)号：

CN107709407B

公开(公告)日：

2018-02-16

发明(设计)人：

川端健志雨宫拓马大桥秀和岩井悠涉谷明规

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

C08G7310

IPC分类号：

C08F29014 G03F7004 G03F7023 G03F7027 H01L21312 H01L2329 H01L2331 H01L25065 H01L2507 H01L2518

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

薛海蛟

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

共 50 条

[1]

固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及聚酰亚胺或聚酰亚胺前体 [P].

野崎敦靖 .

日本专利 :CN114008527B ,2024-11-01

[2]

固化性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体器件及聚酰亚胺或聚酰亚胺前体 [P].

野崎敦靖 .

中国专利 :CN114008527A ,2022-02-01

[3]

聚酰亚胺前体树脂组合物、聚酰亚胺树脂组合物、聚酰亚胺树脂膜 [P].

佐伯昭典 ;

立花康子 ;

宫崎大地 .

中国专利 :CN111133054B ,2020-05-08

[4]

聚酰亚胺前体、包含该聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物、使用其的图案固化膜的制造方法和半导体装置 [P].

榎本哲也 ;

小野敬司 ;

大江匡之 ;

铃木佳子 ;

副岛和也 ;

铃木越晴 .

中国专利 :CN104870523A ,2015-08-26

[5]

感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜 [P].

涩井智史 ;

石田真一郎 ;

佐藤友香 ;

藤冈孝亘 .

日本专利 :CN119213364A ,2024-12-27

[6]

聚酰亚胺膜、聚酰亚胺膜的制造方法和聚酰亚胺前体树脂组合物 [P].

坂寄胜哉 ;

小林义弘 ;

胜田敬辅 ;

古濑绫子 ;

冈田滉大 .

中国专利 :CN108699270B ,2018-10-23

[7]

聚酰亚胺前体和包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物 [P].

早川隆志 ;

清水建树 ;

小笠原华菜子 ;

高桥秀明 .

中国专利 :CN101568572A ,2009-10-28

[8]

聚酰亚胺前体和包含该聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物 [P].

山崎长武 ;

清水建树 ;

有久慎司 ;

加藤明宏 .

中国专利 :CN102597061A ,2012-07-18

[9]

前驱体组合物、感光性树脂组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件 [P].

涩谷明规 ;

岩井悠 ;

川端健志 ;

小山一郎 .

中国专利 :CN107709408B ,2018-02-16

[10]

负型感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺固化膜的制造方法及聚酰亚胺固化膜 [P].

佐藤友香 ;

涩井智史 ;

藤冈孝亘 .

日本专利 :CN120129876A ,2025-06-10

← 1 2 3 4 5 →

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-16	公开	公开
2020-11-17	授权	授权
2018-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 73/10 申请日:20160526