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真空室装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821580585.9
申请日：
2018-09-27
公开(公告)号：
CN208949399U
公开(公告)日：
2019-06-07
发明(设计)人：
约尔格·波拉克
卢茨·戈特斯曼
格奥尔格·拉伊梅尔
申请人：
申请人地址：
德国德累斯顿
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
王瑞朋;胡彬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-06-07 | 授权 | 授权 |