光学邻近矫正方法及其系统、掩膜版、设备及存储介质

被引：0

申请号：

CN202011061135.0

申请日：

2020-09-30

公开(公告)号：

CN114326286A

公开(公告)日：

2022-04-12

发明(设计)人：

游亚平倪昶吴宗晔

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号

IPC主分类号：

G03F136

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

高静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20200930
2022-04-12	公开	公开

共 50 条

[1]

光学邻近矫正方法及其系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

游亚平 ;

倪昶 ;

吴宗晔 .

中国专利 :CN114326286B ,2025-08-01

[2]

光学邻近矫正方法及其系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

汪涵 ;

杨芸 ;

郑凯 ;

高颖 ;

彭凡珊 .

中国专利 :CN114442421A ,2022-05-06

[3]

光学邻近矫正方法及其系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

汪涵 ;

杨芸 ;

郑凯 ;

高颖 ;

彭凡珊 .

中国专利 :CN114442421B ,2025-08-19

[4]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备、存储介质 [P].

柏锋 ;

杜杳隽 ;

李甲兮 ;

张婉娟 ;

李亮 .

中国专利 :CN113050366A ,2021-06-29

[5]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备、存储介质 [P].

柏锋 ;

杜杳隽 ;

李甲兮 ;

张婉娟 ;

李亮 .

中国专利 :CN113050366B ,2024-05-17

[6]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

王良 ;

张迎春 .

中国专利 :CN115047707A ,2022-09-13

[7]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

王良 .

中国专利 :CN114879445B ,2025-12-23

[8]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

王良 .

中国专利 :CN114879445A ,2022-08-09

[9]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备与存储介质 [P].

陈巧丽 ;

孟阳 ;

王英芳 .

中国专利 :CN114077774B ,2025-06-20

[10]

光学邻近效应矫正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

严保鑫 .

中国专利 :CN119200315A ,2024-12-27

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