CVD炉内气体扩散装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120484628.5

申请日：

2011-11-29

公开(公告)号：

CN202337819U

公开(公告)日：

2012-07-18

发明(设计)人：

苑执中

申请人：

申请人地址：

450016 河南省郑州市郑州经济技术开发区河南郑州出口加工区九号标准厂房1-2层

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

代理机构：

郑州大通专利商标代理有限公司 41111

代理人：

陈大通

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101595542740 IPC(主分类):C23C 16/455 专利号:ZL2011204846285 申请日:20111129 授权公告日:20120718 终止日期:20131129
2012-07-18	授权	授权

共 50 条

[1]

气体扩散装置 [P].

申屠永权 .

中国专利 :CN203139874U ,2013-08-21

[2]

气体扩散装置 [P].

申屠永权 .

中国专利 :CN103120883B ,2013-05-29

[3]

吸干机内气体扩散装置 [P].

董菊红 ;

刘以力 ;

周智华 .

中国专利 :CN206276187U ,2017-06-27

[4]

微量气体扩散装置 [P].

马荣昌 .

中国专利 :CN1973975A ,2007-06-06

[5]

一种气体扩散装置 [P].

邵学 ;

李建华 ;

李向东 .

中国专利 :CN207540013U ,2018-06-26

[6]

气体扩散装置 [P].

韩梦蕊 .

中国专利 :CN309297281S ,2025-05-16

[7]

气体扩散装置 [P].

吴凤丽 ;

廉杰 .

中国专利 :CN203983244U ,2014-12-03

[8]

气体扩散装置 [P].

巴特·诺顿 .

中国专利 :CN101622063B ,2010-01-06

[9]

气体扩散装置基座 [P].

韩梦蕊 .

中国专利 :CN309312252S ,2025-05-30

[10]

气体溶解扩散装置 [P].

史春琼 ;

陈天燕 ;

安德鲁·维拉胡安 ;

张洪榕 ;

华志良 .

法国专利 :CN223614059U ,2025-12-02

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