基于声表面波的湿度传感器及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011092166.2

申请日：

2020-10-13

公开(公告)号：

CN112213384A

公开(公告)日：

2021-01-12

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

322200 浙江省金华市浦江县仙华街道东山路488号

IPC主分类号：

G01N2902

IPC分类号：

G01N29036

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-12	公开	公开
2021-04-20	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G01N 29/02 申请公布日:20210112
2021-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 29/02 申请日:20201013

共 50 条

[1]

基于声表面波的流体流速传感器及系统 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112213519A ,2021-01-12

[2]

声表面波瓦斯传感器 [P].

张涛 ;

马宏伟 ;

刘婷 .

中国专利 :CN202230055U ,2012-05-23

[3]

声表面波传感器 [P].

徐静波 ;

张海英 .

中国专利 :CN106404919A ,2017-02-15

[4]

声表面波湿度传感器及其制作方法 [P].

尹小波 ;

尹堃 ;

郭棋武 ;

胡泽超 .

中国专利 :CN111693601B ,2020-09-22

[5]

柔性声表面波传感器制备方法及柔性声表面波传感器 [P].

梁晓瑞 ;

刘儒屹 ;

张磊 ;

谭秋林 .

中国专利 :CN121067931A ,2025-12-05

[6]

一种基于柔性声表面波器件的湿度传感器 [P].

吴化平 ;

诸骏 ;

刘振东 ;

陈宇丹 .

中国专利 :CN110261471A ,2019-09-20

[7]

声表面波测量传感器 [P].

李天利 ;

朱克敏 .

中国专利 :CN201837405U ,2011-05-18

[8]

声表面波温度传感器 [P].

李强 ;

李红浪 .

中国专利 :CN102928111B ,2013-02-13

[9]

漏声表面波传感器 [P].

陈鸣 ;

府伟灵 ;

王云霞 .

中国专利 :CN1844909A ,2006-10-11

[10]

一种声表面波传感器芯片结构及传感器 [P].

李红浪 ;

蔡飞达 ;

李鹏旭 ;

柯亚兵 ;

田亚会 ;

程利娜 .

中国专利 :CN107145931B ,2017-09-08

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