一种多晶硅生产过程中氢气的回收系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510889560.1

申请日：

2015-12-04

公开(公告)号：

CN106829863B

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

邹飞陈喜清张旭王玉丽张治锦郑宝刚黎远中

申请人：

申请人地址：

830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园

IPC主分类号：

C01B352

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

罗建民;邓伯英

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-13	公开	公开
2019-03-22	授权	授权
2017-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101731981911 IPC(主分类):C01B 3/52 专利申请号:2015108895601 申请日:20151204

共 50 条

[1]

多晶硅生产过程中废气的回收方法 [P].

侯雨 ;

王惠 ;

宋高杰 ;

相文强 ;

董越杰 ;

赵阳 .

中国专利 :CN111036029A ,2020-04-21

[2]

一种多晶硅生产过程中的尾气回收工艺 [P].

张伟 ;

银波 ;

张吉武 ;

陈朝霞 ;

黄彬 .

中国专利 :CN105565323B ,2016-05-11

[3]

一种多晶硅生产过程中HCl的回收方法 [P].

赵华 ;

王雪莲 .

中国专利 :CN103922286A ,2014-07-16

[4]

一种多晶硅生产过程中硅块清洗水回收利用系统 [P].

张小强 ;

冯欢 ;

周鹭瑶 ;

彭杨 ;

蒲勇 ;

周波 ;

明勇 ;

李兵 ;

杨映 ;

周涛 .

中国专利 :CN220478277U ,2024-02-13

[5]

多晶硅生产过程中的氯硅烷除硼系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202246099U ,2012-05-30

[6]

多晶硅生产过程中含氯硅烷浆料连续回收专用系统 [P].

高桢祺 ;

郭波 ;

刘佳 ;

涂夏明 ;

翁博丰 ;

宋安宁 ;

刘全旺 ;

李晓卓 .

中国专利 :CN204824191U ,2015-12-02

[7]

多晶硅生产过程中热量利用的装置 [P].

齐林喜 ;

赵亮 .

中国专利 :CN202785676U ,2013-03-13

[8]

多晶硅生产过程中余热利用的方法 [P].

朱国平 ;

潘和平 .

中国专利 :CN102020276B ,2011-04-20

[9]

多晶硅生产过程中余热利用的装置 [P].

朱国平 ;

潘和平 .

中国专利 :CN201488568U ,2010-05-26

[10]

多晶硅生产过程中的氯硅烷残液闪蒸系统 [P].

汪应军 ;

詹迎春 .

中国专利 :CN202226742U ,2012-05-23

← 1 2 3 4 5 →