一种薄膜压力传感器及制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610790333.8

申请日：

2016-08-31

公开(公告)号：

CN106441650B

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

刁克明

申请人：

申请人地址：

100071 北京市丰台区小屯路150号

IPC主分类号：

G01L122

IPC分类号：

代理机构：

北京格允知识产权代理有限公司 11609

代理人：

周娇娇;谭辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-05	授权	授权
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708612201 IPC(主分类):G01L 1/22 专利申请号:2016107903338 申请日:20160831
2017-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

用于薄膜压力传感器的应变薄膜及其制备方法、薄膜压力传感器芯体 [P].

周国方 ;

景涛 ;

何峰 ;

龚星 .

中国专利 :CN105547535A ,2016-05-04

[2]

一种薄膜压力传感器 [P].

周国方 ;

景涛 ;

龚星 ;

袁云华 ;

章良 .

中国专利 :CN204286669U ,2015-04-22

[3]

薄膜压力传感器 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105021341B ,2015-11-04

[4]

一种薄膜压力传感器及其制备方法 [P].

杨婕 ;

王培 ;

何姣姣 ;

王新安 ;

张兴 .

中国专利 :CN118032169A ,2024-05-14

[5]

膜片式薄膜压力传感器 [P].

雷卫武 ;

邓跃民 .

中国专利 :CN105136376A ,2015-12-09

[6]

一种薄膜压力传感器 [P].

彭银桥 ;

雷桂斌 ;

甘元驹 ;

付东洋 ;

王淑青 ;

陈月峰 .

中国专利 :CN206459775U ,2017-09-01

[7]

压力传感器的制备方法及压力传感器 [P].

马清杰 ;

李文翔 .

中国专利 :CN106768514A ,2017-05-31

[8]

薄膜压力传感器 [P].

吉晨阳 ;

丁伟 ;

杨玉卓 ;

张晓奕 .

中国专利 :CN305529445S ,2020-01-03

[9]

薄膜压力传感器及其制备方法 [P].

匡正 .

中国专利 :CN116380327B ,2024-12-20

[10]

薄膜压力传感器 [P].

张亚峰 ;

赵亮 .

中国专利 :CN307140952S ,2022-03-04

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