一种电容式MEMS加速度传感器

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200520082496.8

申请日：

2005-04-15

公开(公告)号：

CN2821576Y

公开(公告)日：

2006-09-27

发明(设计)人：

颜永安于国良唐晓刚牛德芳赵冰孙中心星学奎张桂先张乐巧

申请人：

申请人地址：

264209山东省威海市高技区火炬路156号双丰公司

IPC主分类号：

G01P15125

IPC分类号：

代理机构：

威海科星专利事务所

代理人：

马良悦

法律状态：

其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-03-25	其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)	其他有关事项(避免重复授权放弃专利权) 放弃生效日:20090204
2006-09-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种电容式MEMS加速度传感器 [P].

颜永安 ;

于国良 ;

唐晓刚 ;

牛德芳 ;

赵冰 ;

孙中心 ;

星学奎 ;

张桂先 ;

张乐巧 .

中国专利 :CN100458449C ,2006-10-18

[2]

电容式MEMS加速度传感器 [P].

陈学峰 ;

钟利强 ;

杨小平 .

中国专利 :CN103412146A ,2013-11-27

[3]

一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器 [P].

刘玲 ;

马文英 ;

蔡德卿 ;

李亚喃 ;

李诗语 .

中国专利 :CN207908539U ,2018-09-25

[4]

电容式加速度传感器 [P].

颜毅林 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201749127U ,2011-02-16

[5]

一种电容式加速度传感器 [P].

陈超 ;

王涛 ;

马淑敏 ;

周泓希 ;

蒋亚东 .

中国专利 :CN202512136U ,2012-10-31

[6]

一种三轴MEMS电容式加速度传感器 [P].

张晓桐 ;

张松 ;

王大宇 .

中国专利 :CN214794871U ,2021-11-19

[7]

一种低噪电容式MEMS加速度传感器 [P].

彭朝勇 ;

杨建思 ;

陈安富 ;

郑钰 ;

徐志强 ;

谷红岩 ;

赵明远 ;

姜旭东 .

中国专利 :CN215066770U ,2021-12-07

[8]

电容式加速度传感器 [P].

崔贺伟 ;

陈强中 .

中国专利 :CN203133111U ,2013-08-14

[9]

电容式加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

张沛 ;

陈嘉辉 .

中国专利 :CN114720721B ,2024-04-26

[10]

电容式加速度传感器 [P].

李诺伦 ;

庄瑞芬 ;

张沛 ;

陈嘉辉 .

中国专利 :CN114720721A ,2022-07-08

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