感光性树脂组合物、蚀刻方法以及树脂构造体的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980044443.1

申请日：

2019-07-08

公开(公告)号：

CN112384857A

公开(公告)日：

2021-02-19

发明(设计)人：

入泽宗利伊藤旭田边昌大丰田裕二梶谷邦人

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7027

IPC分类号：

C08F248 C08F22030 G03F7033 G03F720 G03F740

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴克鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-19	公开	公开
2021-03-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/027 申请日:20190708

共 50 条

[1]

被蚀刻基体的制造方法以及感光性树脂组合物 [P].

高木利哉 ;

植松照博 ;

桃泽绫 .

中国专利 :CN101762970A ,2010-06-30

[2]

感光性树脂组合物和蚀刻方法 [P].

入泽宗利 ;

后闲宽彦 ;

梶谷邦人 ;

丰田裕二 ;

中川邦弘 .

中国专利 :CN107430339A ,2017-12-01

[3]

感光性树脂组合物和蚀刻方法 [P].

入泽宗利 ;

后闲宽彦 ;

梶谷邦人 ;

丰田裕二 ;

中川邦弘 .

日本专利 :CN117369212A ,2024-01-09

[4]

感光性树脂组合物及其硬化物、以及感光性树脂的制造方法 [P].

荻原直人 ;

桑原章史 ;

松户和规 ;

秦野望 ;

阪口豪 ;

滨田直宏 ;

早川纯平 ;

宫本彩子 .

中国专利 :CN102854744A ,2013-01-02

[5]

感光性树脂组合物以及被蚀刻基体的制造方法 [P].

植松照博 ;

桃泽绫 ;

高木利哉 .

中国专利 :CN101776845A ,2010-07-14

[6]

感光性树脂组合物、感光性元件及层叠体的制造方法 [P].

田中志步 ;

小野敬司 .

中国专利 :CN115469510A ,2022-12-13

[7]

感光性树脂组合物、感光性元件及层叠体的制造方法 [P].

渡边祐作 ;

武田明子 ;

成田真生 ;

小野敬司 .

日本专利 :CN117980821A ,2024-05-03

[8]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

田尻十南 ;

小坂隼也 ;

山田辉久 ;

国松真一 .

中国专利 :CN114667487A ,2022-06-24

[9]

感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体 [P].

田尻十南 ;

小坂隼也 ;

山田辉久 ;

国松真一 .

日本专利 :CN114667487B ,2025-10-17

[10]

感光性树脂组合物 [P].

井上胜治 ;

武部和男 .

中国专利 :CN101206402A ,2008-06-25

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