一种湿法处理设备中真空吸盘防堵塞系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310452192.5

申请日：

2013-09-29

公开(公告)号：

CN103515270B

公开(公告)日：

2014-01-15

发明(设计)人：

宋文超陈仲武宫晨张伟锋于静

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683

代理机构：

北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004

代理人：

朱丽岩;田世瑢

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-15	公开	公开
2014-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588904049 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2013104521925 申请日:20130929
2017-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种分组式真空吸盘控制系统 [P].

李林涛 .

中国专利 :CN203754047U ,2014-08-06

[2]

一种防堵塞真空吸盘 [P].

储湘华 ;

顾荣军 ;

郭东明 ;

朱祥龙 .

中国专利 :CN101789387A ,2010-07-28

[3]

一种强力真空吸盘防堵塞吸板机 [P].

刘敏河 .

中国专利 :CN217172366U ,2022-08-12

[4]

一种真空吸盘夹具 [P].

杨丹丹 .

中国专利 :CN205734027U ,2016-11-30

[5]

一种带防倒吸装置的真空吸盘 [P].

张家玮 ;

曹一帆 ;

杨嘉鑫 ;

梅浩 .

中国专利 :CN217201571U ,2022-08-16

[6]

一种真空吸盘 [P].

李秉永 ;

吕明 ;

郭城 ;

魏继昊 .

中国专利 :CN201896027U ,2011-07-13

[7]

一种改进型防堵塞真空吸盘 [P].

储湘华 ;

郭东明 ;

顾荣军 ;

朱祥龙 .

中国专利 :CN201562673U ,2010-08-25

[8]

一种易清洗防堵塞的真空吸盘 [P].

李焌锴 .

中国专利 :CN222660771U ,2025-03-25

[9]

一种真空吸盘质量测试系统 [P].

程永亮 ;

彭正阳 ;

容锦 ;

孟祥宾 ;

刘军军 ;

李锋 ;

高浩 .

中国专利 :CN208171586U ,2018-11-30

[10]

一种真空吸盘 [P].

尼姆罗德·罗腾 ;

O·约科夫 ;

甘雨帆 ;

E·茨法斯曼 .

中国专利 :CN216867266U ,2022-07-01

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