化学机械抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511021045.8

申请日：

2015-12-30

公开(公告)号：

CN106625201A

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

金钟千任桦爀金旻成赵玟技

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B3734 B24B37005

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人：

姜虎;陈英俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-30	授权	授权
2018-03-02	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B 37/04 登记生效日:20180207 变更事项:申请人变更前权利人:K.C.科技股份有限公司变更后权利人:凯斯科技股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:京畿道变更后权利人:韩国京畿道变更事项:申请人变更后权利人:KC股份有限公司
2017-06-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101724586150 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2015110210458 申请日:20151230
2017-05-10	公开	公开
2018-03-02	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B 37/04 登记生效日:20180207 变更事项:申请人变更前权利人:凯斯科技股份有限公司变更后权利人:凯斯科技股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道变更事项:申请人变更前权利人:KC股份有限公司

共 50 条

[1]

化学机械抛光装置 [P].

金钟千 ;

赵玟技 .

中国专利 :CN205380555U ,2016-07-13

[2]

化学机械抛光装置 [P].

金钟千 ;

金旻成 ;

赵玟技 .

中国专利 :CN106826533B ,2017-06-13

[3]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205009026U ,2016-02-03

[4]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 .

中国专利 :CN205166654U ,2016-04-20

[5]

化学机械抛光装置 [P].

吴政勋 ;

唐建设 ;

S·M·苏尼卡 ;

B·J·布朗 ;

A·J·纳耿加斯特 ;

D·R·威蒂 ;

R·德赛 ;

沈施浩 ;

吴昊晟 ;

Y·胡 .

美国专利 :CN221290866U ,2024-07-09

[6]

化学机械抛光装置 [P].

金旻成 ;

任桦爀 ;

董慜摄 .

中国专利 :CN205465666U ,2016-08-17

[7]

化学机械抛光装置 [P].

N·A·威斯韦尔 ;

S·布尔曼德 ;

D·J·本韦格努 ;

T·H·奥斯特海德 ;

B·A·斯韦德克 .

中国专利 :CN218254530U ,2023-01-10

[8]

化学机械抛光装置和化学机械抛光方法 [P].

铃木三惠子 ;

土屋泰章 .

中国专利 :CN1098746C ,1999-09-01

[9]

化学机械抛光装置及方法 [P].

金钟千 ;

金旻成 ;

任桦爀 ;

金志郁 .

中国专利 :CN106466807A ,2017-03-01

[10]

化学机械抛光设备 [P].

裴城焄 .

中国专利 :CN101238552A ,2008-08-06

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