一种完全褪除工件表面类金刚石碳膜的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201310574291.0
申请日
2013-11-15
公开(公告)号
CN103603026B
公开(公告)日
2014-02-26
发明(设计)人
张栋 汪爱英 孙丽丽 柯培玲
申请人
申请人地址
315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
IPC主分类号
C25F302
IPC分类号
代理机构
北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人
单英
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
去除类金刚石碳膜的方法 [P]. 
萧博元 .
中国专利 :CN101058894B ,2007-10-24
[2]
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王银果 .
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[3]
一种退除钢铁表面类金刚石碳膜的方法 [P]. 
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张栋 ;
孙丽丽 .
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[4]
类金刚石碳膜的表面加工方法 [P]. 
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[5]
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苏东艺 .
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[6]
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王汉德 .
中国专利 :CN120366725A ,2025-07-25
[7]
类金刚石碳膜成膜装置及形成类金刚石碳膜的方法 [P]. 
大竹尚登 ;
松尾诚 ;
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[8]
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张斌 ;
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[9]
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[10]
类金刚石碳膜的处理方法 [P]. 
赵伟 .
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