一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910045269.0

申请日：

2009-01-14

公开(公告)号：

CN101775256A

公开(公告)日：

2010-07-14

发明(设计)人：

徐春

申请人：

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C09K314 H01L21321

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101454945232 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2009100452690 申请公布日:20100714
2010-07-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于铜制程的化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN101457123A ,2009-06-17

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

庞可亮 ;

王雨春 .

中国专利 :CN103666276A ,2014-03-26

[3]

一种用于铜制程的化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN101457122B ,2009-06-17

[4]

一种化学机械抛光液及其用途 [P].

刘天奇 ;

荆建芬 ;

周文婷 ;

王苗苗 ;

罗威 ;

蔡鑫元 ;

马健 ;

宋凯 ;

李昀 ;

王乐 .

中国专利 :CN120272120A ,2025-07-08

[5]

化学机械抛光液 [P].

杨云忠 .

中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25

[6]

化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 ;

肖正龙 ;

荆建芬 .

中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

殷天亮 ;

郁夏盈 ;

林海峰 .

中国专利 :CN118271971A ,2024-07-02

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

陈国栋 ;

宋伟红 ;

姚颖 ;

包建鑫 ;

王淑敏 .

中国专利 :CN101451049A ,2009-06-10

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

杨俊雅 ;

荆建芬 ;

马健 ;

姚颖 ;

周靖宇 ;

黄悦锐 ;

倪宇飞 ;

李恒 ;

蔡鑫元 .

中国专利 :CN113122142A ,2021-07-16

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17

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