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一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910942462.8
申请日：
2019-09-30
公开(公告)号：
CN110524412A
公开(公告)日：
2019-12-03
发明(设计)人：
赵德文
刘远航
孟松林
申请人：
申请人地址：
100084 北京市海淀区清华园1号
IPC主分类号：
B24B3732
IPC分类号：
B24B37013
B24B4910
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/32 申请日:20190930 |
| 2020-05-08 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):B24B 37/32 变更事项:申请人 变更前:清华大学 变更后:清华大学 变更事项:地址 变更前:100084 北京市海淀区清华园1号 变更后:100084 北京市海淀区清华园1号 变更事项:申请人 变更前:天津华海清科机电科技有限公司 变更后:华海清科股份有限公司 |
| 2019-12-03 | 公开 | 公开 |