一种清除光罩表面颗粒污染物的装置及清除方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710146462.8

申请日：

2017-03-13

公开(公告)号：

CN106914454A

公开(公告)日：

2017-07-04

发明(设计)人：

贾洪民李德建陈力均朱骏

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

B08B502

IPC分类号：

B08B1504 H01L2167

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

吴世华;陈慧弘

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B08B 5/02 申请公布日:20170704
2017-07-04	公开	公开
2017-07-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101737364067 IPC(主分类):B08B 5/02 专利申请号:2017101464628 申请日:20170313

共 50 条

[1]

清除颗粒污染物的方法 [P].

马克·卡瓦古奇 ;

大卫·穆伊 ;

马克·威尔考克森 .

中国专利 :CN102458697B ,2012-05-16

[2]

一种光刻机光罩污染物的清除装置 [P].

李晨 .

中国专利 :CN221595509U ,2024-08-23

[3]

一种河道表面污染物清除装置 [P].

翟秀英 .

中国专利 :CN208965523U ,2019-06-11

[4]

一种清除烟囱中污染物颗粒的装置 [P].

艾伦比可·萨尔塔那列夫 ;

杜景山 ;

王坤 ;

黄启恒 ;

赵奎鹏 .

中国专利 :CN204816889U ,2015-12-02

[5]

室外污染物清除装置 [P].

陈莉 ;

李易 .

中国专利 :CN110812968A ,2020-02-21

[6]

一种产品镀层表面污染物清除装置 [P].

伍卫华 ;

郑永光 ;

陈锐丰 ;

陈浩健 ;

黄胜 .

中国专利 :CN215997843U ,2022-03-11

[7]

车内异味及污染物的清除方法 [P].

朱启亮 .

中国专利 :CN103285415B ,2013-09-11

[8]

一种水体污染物清除装置 [P].

张文炳 ;

陶玲 ;

闫瑞 ;

尹登 ;

汪洋 ;

周宁致 ;

黎宇杰 ;

陈骄 ;

黄晓扬 .

中国专利 :CN214993665U ,2021-12-03

[9]

一种湖泊水体表面污染物清除装置 [P].

郑学文 ;

关耀楠 ;

刘典鸿 .

中国专利 :CN211036929U ,2020-07-17

[10]

一种清除烟囱内部污染物的装置及方法 [P].

李培峰 ;

刘俊义 .

中国专利 :CN103170484A ,2013-06-26

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