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晶圆层叠对准量测装置及其量测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810275017.6
申请日：
2018-03-30
公开(公告)号：
CN110314897A
公开(公告)日：
2019-10-11
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
IPC主分类号：
B08B502
IPC分类号：
代理机构：
北京市铸成律师事务所 11313
代理人：
张臻贤;李够生
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-11 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 5/02 申请日:20180330 |