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一种全自动双面曝光机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010700821.1
申请日：
2020-07-20
公开(公告)号：
CN113835303A
公开(公告)日：
2021-12-24
发明(设计)人：
钱志斌
胥涛棚
张雷
李伟成
申请人：
申请人地址：
215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200720 |
| 2021-12-24 | 公开 | 公开 |