一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置

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申请号
CN202210870221.9
申请日
2022-07-23
公开(公告)号
CN115056369A
公开(公告)日
2022-09-16
发明(设计)人
王卫良 李士昌 刘超平 蒋建新 傅镓炜
申请人
申请人地址
312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道银城路97号4号厂房
IPC主分类号
B28D122
IPC分类号
B28D700 B28D704
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置 [P]. 
王卫良 ;
李士昌 ;
刘超平 ;
蒋建新 ;
傅镓炜 .
中国专利 :CN115056369B ,2024-11-01
[2]
用于半导体扩散炉的石英钩 [P]. 
潘建英 ;
伍林 ;
周富利 .
中国专利 :CN202230993U ,2012-05-23
[3]
用于半导体扩散炉的石英钩 [P]. 
潘建英 ;
伍林 ;
周富利 .
中国专利 :CN103021901A ,2013-04-03
[4]
一种半导体扩散炉用花篮支架 [P]. 
程宪良 .
中国专利 :CN216698310U ,2022-06-07
[5]
一种半导体扩散炉花篮存储支架 [P]. 
程宪良 .
中国专利 :CN217072331U ,2022-07-29
[6]
一种半导体硅片的石英扩散炉 [P]. 
徐煜清 ;
徐源 ;
徐传龙 ;
冯维娥 .
中国专利 :CN120273033B ,2025-12-30
[7]
一种半导体硅片的石英扩散炉 [P]. 
汤芳 ;
常永喜 ;
张勇 ;
孙秋谨 .
中国专利 :CN118263162B ,2024-08-27
[8]
一种半导体硅片的石英扩散炉 [P]. 
汤芳 ;
常永喜 ;
张勇 ;
孙秋谨 .
中国专利 :CN118263162A ,2024-06-28
[9]
一种半导体硅片的石英扩散炉 [P]. 
徐煜清 ;
徐源 ;
徐传龙 ;
冯维娥 .
中国专利 :CN120273033A ,2025-07-08
[10]
一种半导体扩散炉用花篮翻转支架 [P]. 
程宪良 .
中国专利 :CN216694483U ,2022-06-07