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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/683 登记生效日:20210318 变更事项:专利权人 变更前权利人:ASM美国股份有限公司 变更后权利人:ASM IP控股有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国亚利桑那州 变更后权利人:荷兰阿尔梅勒 |
| 2012-05-02 | 公开 | 公开 |
| 2012-06-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101272514996 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2010800202677 申请日:20100430 |
| 2014-12-10 | 授权 | 授权 |