流体供给装置和流体供给方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880051985.7

申请日：

2018-07-31

公开(公告)号：

CN110998801A

公开(公告)日：

2020-04-10

发明(设计)人：

吉田俊英皆见幸男篠原努

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-10	公开	公开
2022-12-16	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/304 登记生效日:20221205 变更事项:申请人变更前权利人:株式会社富士金变更后权利人:株式会社富士金变更事项:地址变更前权利人:日本大阪府变更后权利人:日本大阪府变更事项:申请人变更后权利人:东京毅力科创株式会社
2020-05-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20180731

共 50 条

[1]

流体供给装置和流体供给方法 [P].

吉田俊英 ;

皆见幸男 ;

篠原努 .

中国专利 :CN110998802A ,2020-04-10

[2]

流体供给装置、流体涂敷装置和流体供给方法 [P].

渡边昭彦 ;

野田力 .

中国专利 :CN101987389A ,2011-03-23

[3]

处理流体供给装置和处理流体供给方法 [P].

中岛干雄 ;

梅崎翔太 ;

林田贵大 .

日本专利 :CN120019478A ,2025-05-16

[4]

流体供给装置、流体喷射装置及流体供给方法 [P].

高桥宣仁 .

中国专利 :CN101323212A ,2008-12-17

[5]

流体供给装置、流体喷射装置及流体供给方法 [P].

小泉义弘 ;

横内秀弥 .

中国专利 :CN101844450A ,2010-09-29

[6]

流体供给系统和流体供给装置及其养护方法 [P].

冈本茂 ;

北出哲史 ;

原田阳介 ;

伏见航 .

日本专利 :CN118998027A ,2024-11-22

[7]

流体供给系统、流体供给装置、流体供给系统的维护方法及流体供给装置的维护方法 [P].

冈本茂 ;

北出哲史 ;

原田阳介 ;

伏见航 .

日本专利 :CN118517038A ,2024-08-20

[8]

流体供给装置 [P].

金东旻 .

中国专利 :CN210925964U ,2020-07-03

[9]

流体供给装置 [P].

驹泽增彦 ;

大木胜 .

中国专利 :CN109702551A ,2019-05-03

[10]

流体供给装置 [P].

宫内祥子 .

中国专利 :CN204919689U ,2015-12-30

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