激光直写设备中多路光路校准系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010573071.6

申请日：

2020-06-22

公开(公告)号：

CN111781800B

公开(公告)日：

2020-10-16

发明(设计)人：

肖燕青茆晓华陈海巍

申请人：

申请人地址：

221000 江苏省徐州市邳州市恒山路西侧

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H04N5225 H04N5235

代理机构：

哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211

代理人：

彭素琴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200622
2022-06-03	授权	授权
2020-10-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种校准激光测距光路的方法及校准系统 [P].

袁志林 ;

张石 ;

李亚锋 .

中国专利 :CN115508815A ,2022-12-23

[2]

一种多路固体激光器光路校准系统 [P].

隆林 ;

陈卫微 ;

王文勇 ;

孙杰 .

中国专利 :CN109193322A ,2019-01-11

[3]

激光直写方法、控制设备及激光直写系统 [P].

朱鹏飞 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

王钦华 ;

徐顺达 ;

周文辉 ;

陈林森 .

中国专利 :CN118057242A ,2024-05-21

[4]

激光直写方法、控制设备及激光直写系统 [P].

朱鹏飞 ;

浦东林 ;

张瑾 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

王钦华 ;

徐顺达 ;

周文辉 ;

陈林森 .

中国专利 :CN118057242B ,2024-12-10

[5]

一种光路校准系统、方法 [P].

潘浩贤 ;

张勤超 ;

陈万群 ;

王正根 .

中国专利 :CN119335758A ,2025-01-21

[6]

校准设备、校准系统及校准方法 [P].

金方晓 ;

王莉 .

中国专利 :CN104539377B ,2015-04-22

[7]

后散射光路自动校准系统及方法 [P].

李熠豪 ;

王占锋 ;

周财武 .

中国专利 :CN113984608B ,2024-01-09

[8]

后散射光路自动校准系统及方法 [P].

李熠豪 ;

王占锋 ;

周财武 .

中国专利 :CN113984608A ,2022-01-28

[9]

光校准系统 [P].

J·马尔拉 ;

H·格拉塞 .

中国专利 :CN1666117A ,2005-09-07

[10]

光校准系统 [P].

J·马尔拉 ;

H·格拉塞 .

中国专利 :CN1666118A ,2005-09-07

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