微米尺度的平面电容式压力传感器制备方法

被引：0

申请号：

CN202210431683.0

申请日：

2022-04-22

公开(公告)号：

CN114910196A

公开(公告)日：

2022-08-16

发明(设计)人：

杨雷陈思成郭艳婕

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01L114

IPC分类号：

代理机构：

北京中济纬天专利代理有限公司 11429

代理人：

覃婧婵

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/14 申请日:20220422
2022-08-16	公开	公开

共 50 条

[1]

电容式压力传感器 [P].

吉川康秀 ;

石仓义之 ;

山口彻 .

中国专利 :CN1961204B ,2007-05-09

[2]

电容式压力传感器 [P].

S·D·布兰肯希普 .

中国专利 :CN102812342B ,2012-12-05

[3]

电容式压力传感器 [P].

莱奥·E·巴龙 ;

约翰·A·曹扎斯蒂 ;

弗朗西斯·A·加勒 .

中国专利 :CN103674404B ,2014-03-26

[4]

电容式压力传感器 [P].

武尔费特·德鲁斯 ;

伊戈·格季曼 ;

弗兰克·赫格纳 .

中国专利 :CN100353154C ,2005-10-12

[5]

电容式压力传感器 [P].

李刚 ;

胡维 .

中国专利 :CN202420729U ,2012-09-05

[6]

电容式压力传感器 [P].

莱奥·E·巴龙 ;

约翰·A·曹扎斯蒂 .

中国专利 :CN103674402A ,2014-03-26

[7]

电容式压力传感器 [P].

弗兰克·黑格纳 ;

安德烈亚斯·罗斯贝格 ;

武尔费特·德鲁斯 ;

埃尔克·施密特 ;

赛宾·施托勒 ;

克里斯特尔·克雷奇马尔 ;

梅拉妮·汗茨察尔 .

中国专利 :CN101680813B ,2010-03-24

[8]

电容式压力传感器 [P].

金黎华 ;

高剑琳 ;

姚良珩 ;

田泉林 .

中国专利 :CN105021325B ,2015-11-04

[9]

电容式压力传感器 [P].

史海龙 .

中国专利 :CN209992100U ,2020-01-24

[10]

电容式压力传感器 [P].

王徐坚 ;

李卫民 ;

李俊毅 ;

孙浩 ;

张笑凡 ;

张润泽 ;

汤俐敏 .

中国专利 :CN222087191U ,2024-11-29

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