共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种自动硅片清洗设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921174837.2
申请日：
2019-07-25
公开(公告)号：
CN210006702U
公开(公告)日：
2020-01-31
发明(设计)人：
冯艳林
申请人：
申请人地址：
301803 天津市宝坻区黄庄镇产业功能区一号路东4号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562
代理人：
宋平
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-01-31 | 授权 | 授权 |