晶圆承载台自动清洁监控系统、监控方法及可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111149897.0

申请日：

2021-09-29

公开(公告)号：

CN113946613A

公开(公告)日：

2022-01-18

发明(设计)人：

韩洋黄俊徐晓敏

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

IPC主分类号：

G06F1625

IPC分类号：

G06F16248 B08B1300 H01L2167

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭立

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 16/25 申请日:20210929
2022-01-18	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷监控方法、晶圆缺陷监控系统、电子设备及存储介质 [P].

茆青 .

中国专利 :CN118136533A ,2024-06-04

[2]

监控系统、方法、可读存储介质及汽车 [P].

袁晖 .

中国专利 :CN108960091A ,2018-12-07

[3]

资金监控方法、资金监控系统、终端及可读存储介质 [P].

张欣宇 .

中国专利 :CN109741160A ,2019-05-10

[4]

监控方法、监控系统及计算机可读存储介质 [P].

曹翚洋 ;

胡平平 ;

董磊 ;

孟利军 ;

胡袁明 .

中国专利 :CN109697153A ,2019-04-30

[5]

监控方法、监控装置、监控系统及计算机可读存储介质 [P].

杨翔 ;

汪清 .

中国专利 :CN110063268A ,2019-07-30

[6]

监控系统、监控方法、监控终端及存储介质 [P].

王英广 ;

游彩锋 ;

赖永达 ;

郑汉钦 ;

韦敏荣 ;

龚荣 ;

刘活 ;

李安平 .

中国专利 :CN111983412A ,2020-11-24

[7]

监控方法、系统及可读存储介质 [P].

何赛娟 ;

陈扬坤 ;

陈展 .

中国专利 :CN110874909A ,2020-03-10

[8]

硬盘温度监控方法、装置、可读存储介质及硬盘监控系统 [P].

柳顺兵 ;

韩晓彤 ;

常永良 .

中国专利 :CN112783712A ,2021-05-11

[9]

充电设备状态监控方法、监控系统和可读存储介质 [P].

郑超 ;

梁梅喜 ;

颉滨 ;

李义 ;

王赞 ;

陈国鹏 ;

朱悦 ;

赵欣 .

中国专利 :CN108631398B ,2018-10-09

[10]

大数据集群的监控方法、装置、监控系统及可读存储介质 [P].

李宏伟 ;

常兴亮 ;

刘镯 .

中国专利 :CN114301904A ,2022-04-08

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