蒸镀掩膜和显示装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780096263.9

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN111279012B

公开(公告)日：

2020-06-12

发明(设计)人：

田中庄介

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府堺市堺区匠町1番地

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

G09F900 G09F930 H01L2732 H01L5150 H05B3310

代理机构：

深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334

代理人：

郝家欢

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-22	授权	授权
2020-06-12	公开	公开
2020-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20171031

共 50 条

[1]

蒸镀掩膜、蒸镀掩膜用掩膜构件及蒸镀掩膜的制造方法和有机EL显示装置的制造方法 [P].

竹井日出夫 ;

崎尾进 ;

岸本克彥 .

中国专利 :CN108934170A ,2018-12-04

[2]

蒸镀掩膜、蒸镀掩膜的制造方法、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法 [P].

崎尾进 ;

西田光志 ;

岸本克彥 .

中国专利 :CN109168319B ,2019-01-08

[3]

蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法 [P].

西田光志 ;

岸本克彥 .

中国专利 :CN109072401A ,2018-12-21

[4]

蒸镀掩膜的制造方法以及显示装置的制造方法 [P].

石川博一 ;

冲田昌海 ;

堺健太郎 ;

西塔明 .

中国专利 :CN106133182A ,2016-11-16

[5]

掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置 [P].

嵇凤丽 .

中国专利 :CN113015821B ,2021-06-22

[6]

掩膜装置及其制造方法、蒸镀方法、显示装置 [P].

嵇凤丽 .

中国专利 :CN113302330A ,2021-08-24

[7]

显示装置以及蒸镀掩膜 [P].

小池英士 ;

园田通 ;

犬塚真博 ;

嶋田纯也 .

中国专利 :CN113924380A ,2022-01-11

[8]

掩膜版及其制造方法、蒸镀装置、显示装置 [P].

曲连杰 .

中国专利 :CN109402559A ,2019-03-01

[9]

掩膜板、蒸镀装置及显示装置的制造方法 [P].

赵莹 ;

李俊峰 ;

高峰 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN108531855A ,2018-09-14

[10]

显示背板、显示装置、掩膜版、蒸镀方法和显示方法 [P].

周辉 .

中国专利 :CN111883571A ,2020-11-03

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