一种硅片清洗烘干用的花篮装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120927095.7

申请日：

2021-04-30

公开(公告)号：

CN214898354U

公开(公告)日：

2021-11-26

发明(设计)人：

邵剑雄

申请人：

申请人地址：

215253 江苏省苏州市苏州高新区五台山路169号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

曹坤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗烘干用花篮装置 [P].

王相军 .

中国专利 :CN210223978U ,2020-03-31

[2]

一种放置硅片的花篮装置 [P].

何振雄 ;

刘军保 ;

杨仕林 ;

周珊合 .

中国专利 :CN222600937U ,2025-03-11

[3]

一种硅片清洗花篮 [P].

杨光 ;

黄艳华 ;

聂加峰 .

中国专利 :CN216818299U ,2022-06-24

[4]

一种硅片用清洗花篮 [P].

刘俊稳 ;

赵福祥 ;

金起弘 .

中国专利 :CN207149539U ,2018-03-27

[5]

一种硅片清洗用花篮 [P].

刘方玉 ;

彭平 ;

夏中高 ;

梁西正 ;

曹允波 ;

李旭杰 ;

阮宏伟 ;

陈庆发 ;

梁红菲 .

中国专利 :CN207343430U ,2018-05-11

[6]

一种硅片专用花篮装置 [P].

杨志勇 ;

田飞 ;

刘芳亮 .

中国专利 :CN211265433U ,2020-08-14

[7]

一种硅片专用花篮装置 [P].

褚玉宝 ;

黄久祥 .

中国专利 :CN221262320U ,2024-07-02

[8]

一种清洗用硅片花篮 [P].

刘俊稳 ;

崔美丽 ;

赵福祥 .

中国专利 :CN213424952U ,2021-06-11

[9]

一种硅片清洗花篮 [P].

傅林坚 ;

沈文杰 ;

谷士斌 ;

蔡蔚 ;

侯洪涛 ;

任明冲 ;

周学谦 ;

宋元恒 ;

潘文博 .

中国专利 :CN207743210U ,2018-08-17

[10]

一种花篮装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213716862U ,2021-07-16

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