半导体外延生长用托盘

被引：0

申请号：

CN202221089361.4

申请日：

2022-05-07

公开(公告)号：

CN217399044U

公开(公告)日：

2022-09-09

发明(设计)人：

马爽种涞源韩景瑞李云廷丁雄傑杨旭腾李锡光

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖北部工业城工业北一路5号二楼办公楼

IPC主分类号：

C30B2302

IPC分类号：

C30B2512 C23C1450 C23C16458 H01L21673

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈进芳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-09	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体外延生长衬底 [P].

彭晖 .

中国专利 :CN203085624U ,2013-07-24

[2]

一种用于半导体外延生长的托盘及半导体加工设备 [P].

周长健 ;

吴从俊 .

中国专利 :CN214327968U ,2021-10-01

[3]

半导体外延生长的前驱体封装容器及半导体外延生长系统 [P].

闫其昂 ;

王国斌 ;

周溯沅 .

中国专利 :CN217266141U ,2022-08-23

[4]

半导体外延生长衬底 [P].

彭晖 .

中国专利 :CN102856451A ,2013-01-02

[5]

半导体外延生长设备 [P].

曾强 ;

查恒 ;

卞达开 ;

罗际蔚 .

中国专利 :CN117802577B ,2024-08-06

[6]

半导体外延生长设备 [P].

曾强 ;

查恒 ;

卞达开 ;

罗际蔚 .

中国专利 :CN117802577A ,2024-04-02

[7]

一种用于半导体外延生长的托盘 [P].

刘文广 .

中国专利 :CN221226182U ,2024-06-25

[8]

半导体外延结构和半导体外延生长方法 [P].

张海林 ;

陈龙 ;

刘庆波 ;

黎子兰 .

中国专利 :CN120187055A ,2025-06-20

[9]

一种半导体外延生长用承载盘 [P].

梁瑞 ;

黄海林 ;

冯淦 ;

赵建辉 .

中国专利 :CN215856451U ,2022-02-18

[10]

一种半导体外延片生长的CVD石墨托盘 [P].

凌杰 .

中国专利 :CN209128590U ,2019-07-19

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