一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010011405.7

申请日：

2010-01-05

公开(公告)号：

CN101775579A

公开(公告)日：

2010-07-14

发明(设计)人：

于庆先孙四通

申请人：

申请人地址：

266034山东省青岛市四方区郑州路53号

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101648906246 IPC(主分类):C23C 14/22 专利号:ZL2010100114057 申请日:20100105 授权公告日:20130306 终止日期:20150105
2013-03-06	授权	授权
2011-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效专利申请号:2010100114057 申请日:20100105 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101078689413 IPC(主分类):C23C 14/22
2010-07-14	公开	公开

共 50 条

[1]

一种超硬氮化钛薄膜的微波等离子体制备方法 [P].

孙四通 ;

于庆先 .

中国专利 :CN101736324A ,2010-06-16

[2]

超疏水性和超亲水性二氧化钛薄膜的等离子体制备方法 [P].

刘伟 ;

李岩 ;

何涛 ;

过凯 ;

王德信 ;

郭颖 ;

杨平 ;

张菁 .

中国专利 :CN101225510A ,2008-07-23

[3]

二氧化钛薄膜的制备方法 [P].

胡瑞楷 ;

陈宏昌 ;

林文婷 .

中国专利 :CN101736295B ,2010-06-16

[4]

二氧化钛纳米薄膜制备方法及二氧化钛纳米薄膜 [P].

邓辉 .

中国专利 :CN110499497B ,2019-11-26

[5]

一种氮化铝薄膜的微波等离子体制备方法 [P].

于庆先 ;

孙四通 .

中国专利 :CN101775580B ,2010-07-14

[6]

二氧化钛薄膜的制备方法 [P].

冯威 ;

王晓峰 ;

朱晓东 ;

王清远 ;

罗建军 ;

付朝坤 ;

孙艳 ;

孔清泉 ;

王小炼 ;

孙丰云 ;

何喜 ;

黄林 ;

安旭光 ;

杨旭林 ;

卢超 ;

宋薇薇 ;

姜为 ;

李黎 ;

陈渝 ;

吴节节 ;

冯再 ;

赵虔 ;

马娟 ;

董志红 ;

钱扬顺 .

中国专利 :CN110117787A ,2019-08-13

[7]

二氧化钛薄膜的制备方法 [P].

黄富强 ;

吕旭杰 ;

吴建军 .

中国专利 :CN102173450A ,2011-09-07

[8]

二氧化钛薄膜催化协同脉冲等离子体处理废水的装置 [P].

张轶 ;

丛燕青 ;

王齐 .

中国专利 :CN202226696U ,2012-05-23

[9]

采用等离子体源沉积二氧化钛的方法 [P].

A·迪朗多 ;

M·迪朗 ;

C·维克托 .

中国专利 :CN1816645A ,2006-08-09

[10]

掺氮二氧化钛薄膜的制备方法 [P].

万军 ;

赵柯杰 ;

黄成强 ;

饶志鹏 ;

陈波 ;

李超波 ;

夏洋 ;

吕树玲 ;

石莎莉 .

中国专利 :CN103160802B ,2013-06-19

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