共 50 条
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支撑杆及带有该支撑杆的蚀刻装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920904479.X
申请日：
2019-06-17
公开(公告)号：
CN209804587U
公开(公告)日：
2019-12-17
发明(设计)人：
许赞
申请人：
申请人地址：
401326 重庆市九龙坡区西彭镇森迪大道66号附72号
IPC主分类号：
H01J3720
IPC分类号：
H01J37305
H01L21687
H01L2167
代理机构：
重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216
代理人：
龙玉洪
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-17 | 授权 | 授权 |