一种真空紫外光源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010218144.X

申请日：

2020-03-25

公开(公告)号：

CN111463104B

公开(公告)日：

2020-07-28

发明(设计)人：

游卫龙

申请人：

申请人地址：

313200 浙江省湖州市德清县舞阳街道德清地理信息小镇C区4幢(莫干山国家高新区)

IPC主分类号：

H01J6130

IPC分类号：

H01J6136 H01J6126

代理机构：

杭州杭诚专利事务所有限公司 33109

代理人：

尉伟敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-28	公开	公开
2022-08-23	授权	授权
2020-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 61/30 申请日:20200325

共 50 条

[1]

一种真空紫外光源 [P].

冯高平 ;

洪延姬 ;

梁健玮 ;

饶伟 ;

宋俊玲 ;

王殿恺 ;

叶继飞 ;

文明 .

中国专利 :CN114551216A ,2022-05-27

[2]

一种真空紫外光源结构 [P].

冯高平 ;

洪延姬 ;

梁健玮 ;

饶伟 ;

宋俊玲 ;

王殿恺 ;

叶继飞 ;

文明 .

中国专利 :CN114582705A ,2022-06-03

[3]

高通量无极真空紫外光源 [P].

束继年 ;

孟筠旺 ;

高绍凯 ;

张阳 ;

李曜 .

中国专利 :CN101567297A ,2009-10-28

[4]

一种同轴气体放电真空紫外光源装置 [P].

洪延姬 ;

冯高平 ;

王明东 ;

王广宇 ;

宋俊玲 .

中国专利 :CN106941073B ,2017-07-11

[5]

一种惰性气体放电真空紫外光源 [P].

冯高平 ;

洪延姬 ;

梁健玮 ;

饶伟 ;

宋俊玲 ;

朱潇潇 ;

张佳乐 .

中国专利 :CN114220728A ,2022-03-22

[6]

一种真空紫外光源及使用方法 [P].

冯高平 ;

洪延姬 ;

梁健玮 ;

饶伟 ;

宋俊玲 ;

齐山东 ;

徐伟生 ;

王明东 .

中国专利 :CN119419114A ,2025-02-11

[7]

一种真空紫外光源及使用方法 [P].

冯高平 ;

洪延姬 ;

梁健玮 ;

饶伟 ;

宋俊玲 ;

齐山东 ;

徐伟生 ;

王明东 .

中国专利 :CN119419114B ,2025-09-05

[8]

基于真空室的真空紫外光源测试系统 [P].

张善端 ;

韩秋漪 ;

张豪俊 .

中国专利 :CN204694447U ,2015-10-07

[9]

基于真空室的真空紫外光源测试系统 [P].

张善端 ;

韩秋漪 ;

张豪俊 .

中国专利 :CN104776980A ,2015-07-15

[10]

一种高效高亮度真空紫外光源装置 [P].

谢英英 ;

欧宏炜 .

中国专利 :CN106469641A ,2017-03-01

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