一种基板热处理装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121432801.7

申请日：

2021-06-24

公开(公告)号：

CN216144152U

公开(公告)日：

2022-03-29

发明(设计)人：

宋英雄

申请人：

申请人地址：

200000 上海市奉贤区北村路199号4幢

IPC主分类号：

F27B902

IPC分类号：

F27B912 F27B924 F27B936 F25D3100 F25D2504 H01L2167 H01L21677

代理机构：

上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434

代理人：

葛瑛

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基板热处理装置 [P].

王士敏 ;

黄林华 ;

张辉 ;

刘金利 ;

刘治国 ;

梁勇 ;

许敏 .

中国专利 :CN209037169U ,2019-06-28

[2]

基板热处理装置 [P].

大谷响 ;

藤瀬辽平 .

日本专利 :CN221805448U ,2024-10-01

[3]

一种废料热处理装置 [P].

杨少平 .

中国专利 :CN216047692U ,2022-03-15

[4]

基板冷热处理装置 [P].

张存 .

中国专利 :CN214098110U ,2021-08-31

[5]

基板加热处理装置 [P].

马志超 ;

林国豪 ;

谈文毅 .

中国专利 :CN209515619U ,2019-10-18

[6]

基板热处理装置和基板热处理方法 [P].

大谷响 ;

藤瀬辽平 .

日本专利 :CN118156175A ,2024-06-07

[7]

一种热处理装置 [P].

潘永刚 .

中国专利 :CN210826278U ,2020-06-23

[8]

一种热处理装置 [P].

程桥 ;

邢淑清 ;

鲍鑫宇 ;

周金鑫 ;

刘永珍 ;

麻永林 .

中国专利 :CN216891078U ,2022-07-05

[9]

一种热处理装置 [P].

李新尧 .

中国专利 :CN209957832U ,2020-01-17

[10]

一种热处理装置 [P].

叶快 .

中国专利 :CN220788715U ,2024-04-16

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