一种基于Smith预估补偿幅限模糊PID的ALD设备温度控制方法

被引：0

申请号：

CN202211364164.3

申请日：

2022-11-02

公开(公告)号：

CN115639864A

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

卢倩李皓之周昊天王鹏举周临震曾勇

申请人：

申请人地址：

224000 江苏省盐城市盐南高新区新河街道办事处新怡社区新园路20号1幢401室

IPC主分类号：

G05D2322

IPC分类号：

代理机构：

南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321

代理人：

姜贝贝

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-24	公开	公开
2023-02-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 23/22 申请日:20221102

共 50 条

[1]

一种基于Smith预估补偿的PMSM控制方法 [P].

朱其新 ;

王嘉祺 ;

金建锋 ;

刘红俐 ;

谢鸥 ;

黄晟平 ;

牛雪梅 ;

沈晔湖 ;

蒋全胜 .

中国专利 :CN115664282B ,2025-08-01

[2]

一种基于Smith预估补偿的PMSM控制方法 [P].

朱其新 ;

王嘉祺 ;

金建锋 ;

刘红俐 ;

谢鸥 ;

黄晟平 ;

牛雪梅 ;

沈晔湖 ;

蒋全胜 .

中国专利 :CN115664282A ,2023-01-31

[3]

一种基于极点配置的Smith预估补偿控制方法 [P].

朱其新 ;

何天磊 ;

刘红俐 ;

蒋全胜 ;

牛雪梅 ;

牛福洲 ;

谢鸥 .

中国专利 :CN109283844B ,2019-01-29

[4]

一种自调整模糊Smith-PID温度控制系统及方法 [P].

马晓茜 ;

陈润琪 ;

唐玉婷 .

中国专利 :CN110824908A ,2020-02-21

[5]

一种自调整模糊Smith-PID温度控制系统 [P].

马晓茜 ;

陈润琪 ;

唐玉婷 .

中国专利 :CN211554672U ,2020-09-22

[6]

一种基于DDPG-模糊PID的温度控制方法 [P].

吴敏 ;

王晓璐 ;

姜玉东 ;

钟磊 ;

莫飞杨 .

中国专利 :CN112947627A ,2021-06-11

[7]

一种基于改进型模糊Smith-PID的电加热炉温度控制方法 [P].

吴晓新 ;

赵双双 ;

朱志豪 ;

於锋 .

中国专利 :CN111983918A ,2020-11-24

[8]

一种基于失配补偿Smith预估控制的SCR系统控制方法 [P].

马浩 ;

印琪民 ;

肖玲玲 ;

鲍俊 ;

管颖 ;

王嘉寅 ;

谢俊雄 ;

周泉 ;

施宇冬 .

中国专利 :CN110794685A ,2020-02-14

[9]

一种基于模糊PID算法的钻井平台升降控制方法 [P].

王磊 ;

汤紫莹 ;

贺华成 .

中国专利 :CN111796508A ,2020-10-20

[10]

基于机理模型的ALD设备温度控制方法 [P].

刘强 ;

杨平 .

中国专利 :CN120255605A ,2025-07-04

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