一种用于电子束物理气相沉积制备涂层的夹具

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420657011.2
申请日
2014-11-05
公开(公告)号
CN204281853U
公开(公告)日
2015-04-22
发明(设计)人
邹卓 王璐 张佳平
申请人
申请人地址
110043 辽宁省沈阳市大东区东塔街6号
IPC主分类号
C23C1450
IPC分类号
C23C1430
代理机构
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234
代理人
任凯
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[2]
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滕晓丹 ;
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[3]
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[4]
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[5]
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[8]
一种用于电子束物理气相沉积(EB-PVD)制备热障涂层的加热装置 [P]. 
赵俊伟 ;
盛刚 ;
张松林 .
中国专利 :CN119980154B ,2025-06-20
[9]
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[10]
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