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一种清洗制绒用存放硅片的花篮
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202023339403.9
申请日：
2020-12-31
公开(公告)号：
CN214152861U
公开(公告)日：
2021-09-07
发明(设计)人：
上官泉元
芦伟
申请人：
申请人地址：
213164 江苏省苏州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号金沙江光电产业园内
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L3118
代理机构：
北京集智东方知识产权代理有限公司 11578
代理人：
吴倩
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-07 | 授权 | 授权 |