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一种直写光刻镜头DMD倾斜角度调节装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121643279.7
申请日：
2021-07-19
公开(公告)号：
CN215067724U
公开(公告)日：
2021-12-07
发明(设计)人：
洪小苗
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市苏州高新区浒墅关镇浒杨路36号D幢201室
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京沁优知识产权代理有限公司 11684
代理人：
陈坚
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-07 | 授权 | 授权 |