一种微波等离子体化学气相沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720910386.9

申请日：

2017-07-25

公开(公告)号：

CN207016850U

公开(公告)日：

2018-02-16

发明(设计)人：

陈天鹏袁稳凌天杰

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市惠山区惠山经济开发区堰新路311号1号楼1506-05室

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16517 C23C16458

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

秦昌辉

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微波等离子体化学气相沉积装置及其生产方法 [P].

凌海林 ;

袁稳 ;

陈天鹏 ;

凌天杰 .

中国专利 :CN107227450A ,2017-10-03

[2]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[3]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522921U ,2019-10-22

[4]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522920U ,2019-10-22

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522923U ,2019-10-22

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

涂溶 ;

徐伟清 ;

章嵩 ;

张联盟 .

中国专利 :CN105239057A ,2016-01-13

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 .

中国专利 :CN209522922U ,2019-10-22

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN212505057U ,2021-02-09

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

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