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一种电子束蒸发镀膜设备可视化系统

被引：0
申请号：
CN202221540359.4
申请日：
2022-06-20
公开(公告)号：
CN217809650U
公开(公告)日：
2022-11-15
发明(设计)人：
杜鸿基 陈亮
申请人：
申请人地址：
101300 北京市顺义区南彩镇彩园路6号5幢1层102室
IPC主分类号：
C23C1452
IPC分类号：
C23C1430
代理机构：
北京天汇航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11987
代理人：
黄川
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-15 授权 授权
共 50 条
[1]
电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P]. 
杨建 ;
王雪戈 ;
冯治华 .
中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23
[2]
电子束蒸发镀膜系统 [P]. 
艾金虎 .
中国专利 :CN214496458U ,2021-10-26
[3]
电子束蒸发镀膜设备 [P]. 
袁祖浩 ;
龚俊 ;
李勇 ;
张双景 ;
鲁彤 ;
李明 ;
王佳方 .
中国专利 :CN308435066S ,2024-01-23
[4]
电子束蒸发镀膜装置 [P]. 
李萌萌 ;
黄添萍 ;
李兆营 .
中国专利 :CN118291927A ,2024-07-05
[5]
一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P]. 
蔡永安 ;
杨凯 ;
黄涛 ;
方同乐 .
中国专利 :CN222274666U ,2024-12-31
[6]
坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P]. 
黄涛 ;
王志强 ;
蔡永安 ;
白泽文 ;
徐希翔 .
中国专利 :CN222540859U ,2025-02-28
[7]
一种独立双腔室电子束蒸发镀膜设备 [P]. 
杜鸿基 ;
陈亮 .
中国专利 :CN115110040A ,2022-09-27
[8]
一种独立双腔室电子束蒸发镀膜设备 [P]. 
杜鸿基 ;
陈亮 .
中国专利 :CN115110040B ,2024-05-14
[9]
一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P]. 
黄涛 ;
白泽文 ;
王志强 .
中国专利 :CN222274665U ,2024-12-31
[10]
一种坩埚及电子束蒸发镀膜系统 [P]. 
黄涛 ;
王志强 ;
蔡永安 ;
白泽文 .
中国专利 :CN222540860U ,2025-02-28
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