制备多晶硅的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201680007941.5
申请日
2016-01-29
公开(公告)号
CN107208308A
公开(公告)日
2017-09-26
发明(设计)人
K·黑塞 E·多恩贝格尔 C·赖曼
申请人
申请人地址
德国慕尼黑
IPC主分类号
C30B2906
IPC分类号
C30B2806
代理机构
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人
彭丽丹;过晓东
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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