单晶硅表面处理用的制绒添加剂、制绒剂以及单晶硅表面制绒的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010407647.1

申请日：

2020-05-14

公开(公告)号：

CN111485290B

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

李然范云堂程寒松闫缓

申请人：

申请人地址：

311305 浙江省杭州市临安区青山湖街道南环路289号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

C30B2906 H01L310236 H01L310747 H01L3120

代理机构：

浙江杭知桥律师事务所 33256

代理人：

刘韵遥

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-11	授权	授权
2020-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20200514
2020-08-04	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶硅制绒添加剂、制绒方法以及绒面单晶硅片制备方法 [P].

李新普 ;

高志博 ;

贾锐 .

中国专利 :CN111455467A ,2020-07-28

[2]

一种环保型单晶硅制绒添加剂及其制备工艺，单晶硅制绒液以及制绒方法 [P].

李然 ;

范云堂 ;

程寒松 ;

闫缓 .

中国专利 :CN111647951A ,2020-09-11

[3]

一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺 [P].

陆海斌 ;

石劲超 .

中国专利 :CN102115915B ,2011-07-06

[4]

单晶硅添加剂制绒液 [P].

杨雷 ;

马跃 ;

王景霄 ;

王玉亭 ;

沈专 ;

戴燕华 .

中国专利 :CN101818378B ,2010-09-01

[5]

单晶硅表面制绒方法 [P].

包大新 ;

陈健生 ;

黄仕华 ;

王佳 .

中国专利 :CN109301032A ,2019-02-01

[6]

单晶硅无醇制绒添加剂 [P].

沈专 ;

林佳继 ;

赵同荣 .

中国专利 :CN102943307A ,2013-02-27

[7]

低制绒添加剂耗量的单晶硅制绒方法 [P].

高继龙 ;

彭平 ;

夏中高 ;

李旭杰 .

中国专利 :CN110344122A ,2019-10-18

[8]

一种单晶硅片制绒添加剂及其制备方法和制绒工艺 [P].

李翔 .

中国专利 :CN117926428A ,2024-04-26

[9]

单晶硅制绒添加剂及其制备方法、单晶硅制绒方法、具有金字塔的硅片 [P].

王婕 .

中国专利 :CN119465413A ,2025-02-18

[10]

一种单晶硅制绒添加剂 [P].

蔡国华 .

中国专利 :CN108250363B ,2018-07-06

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