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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-03 | 授权 | 授权 |
| 2019-04-02 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 2/06 变更事项:发明人 变更前:侯帅 花福安 白梅娟 李建平 变更后:白梅娟 花福安 侯帅 李建平 |
| 2017-04-26 | 公开 | 公开 |
| 2017-05-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101721572774 IPC(主分类):C23C 2/06 专利申请号:2017101055448 申请日:20170226 |