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一种真空镀膜机进气装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201621306532.9
申请日：
2016-12-01
公开(公告)号：
CN206375990U
公开(公告)日：
2017-08-04
发明(设计)人：
金传千
申请人：
申请人地址：
215500 江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区黄浦江路96号6幢
IPC主分类号：
C23C1400
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/00 申请日:20161201 授权公告日:20170804 终止日期:20201201 |
| 2017-08-04 | 授权 | 授权 |