真空微电子电场传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN01115635.X

申请日：

2001-04-28

公开(公告)号：

CN1162714C

公开(公告)日：

2002-12-11

发明(设计)人：

夏善红

申请人：

申请人地址：

100080北京市海淀区中关村路17号

IPC主分类号：

G01R2900

IPC分类号：

G01R2912

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

戎志敏

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-06-28	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2002-12-11	公开	公开
2001-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效
2004-08-18	授权	授权

共 50 条

[1]

真空微电子压力传感器 [P].

温志渝 ;

温中泉 ;

张正元 .

中国专利 :CN2537008Y ,2003-02-19

[2]

真空微电子气体传感器 [P].

刘锦淮 ;

张耀华 ;

李明强 ;

张正勇 ;

焦正 ;

张蓉 .

中国专利 :CN2282680Y ,1998-05-27

[3]

一种精度高的真空微电子电场传感器 [P].

向美华 .

中国专利 :CN113419117B ,2021-09-21

[4]

一种精度高的真空微电子电场传感器 [P].

陆鹏飞 ;

王卫利 ;

高莉华 .

中国专利 :CN120928055A ,2025-11-11

[5]

真空微电子压力传感器 [P].

徐世六 ;

温志渝 ;

毛立龙 .

中国专利 :CN101762356A ,2010-06-30

[6]

真空微电子加速度传感器 [P].

温志渝 ;

温中泉 .

中国专利 :CN1250972C ,2004-11-10

[7]

集成真空微电子触觉传感器阵列 [P].

温志渝 ;

江永清 ;

何清义 ;

吕果林 ;

林鹏 ;

蒋子平 .

中国专利 :CN1297145A ,2001-05-30

[8]

台阶阵列阴极真空微电子压力传感器 [P].

夏善红 .

中国专利 :CN1057384C ,1997-03-05

[9]

真空微电子多功能传感器及制备方法 [P].

夏善红 ;

苏杰 .

中国专利 :CN1153953C ,2002-01-09

[10]

一种真空微电子压力传感器 [P].

强俊 ;

阜稳稳 ;

孔智慧 ;

陈恩涛 ;

盛周璇 ;

彭壮 ;

李远洋 .

中国专利 :CN107588871B ,2018-01-16

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