研磨头及研磨装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980132819.0

申请日：

2009-08-07

公开(公告)号：

CN102131617A

公开(公告)日：

2011-07-20

发明(设计)人：

桝村寿桥本浩昌森田幸治岸田敬实荒川悟

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

B24B3700 H01L21304

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

郭晓东;马少东

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	授权	授权
2011-07-20	公开	公开
2011-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101102910086 IPC(主分类):B24B 37/04 专利申请号:2009801328190 申请日:20090807

共 50 条

[1]

研磨头及研磨装置 [P].

桝村寿 ;

北川幸司 ;

森田幸治 ;

岸田敬实 ;

荒川悟 .

中国专利 :CN101827685A ,2010-09-08

[2]

研磨头及研磨装置 [P].

桝村寿 ;

北川幸司 ;

森田幸治 ;

岸田敬实 ;

荒川悟 .

中国专利 :CN101528416B ,2009-09-09

[3]

研磨头及研磨装置 [P].

桥本浩昌 ;

森田幸治 ;

荒谷崇 ;

岸田敬实 ;

荒川悟 .

中国专利 :CN102712073B ,2012-10-03

[4]

研磨头及研磨装置 [P].

桝村寿 .

中国专利 :CN103619538A ,2014-03-05

[5]

研磨头及研磨装置 [P].

柏木诚 .

中国专利 :CN115066315A ,2022-09-16

[6]

研磨头及研磨装置 [P].

柏木诚 ;

藤泽真於 .

日本专利 :CN118660785A ,2024-09-17

[7]

研磨头及研磨装置 [P].

林智雄 .

中国专利 :CN211589699U ,2020-09-29

[8]

研磨头及研磨装置 [P].

唐强 ;

马智勇 ;

肖德元 ;

徐依协 .

中国专利 :CN203887683U ,2014-10-22

[9]

研磨头及研磨装置 [P].

林智雄 .

中国专利 :CN111434458A ,2020-07-21

[10]

研磨头及研磨装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN103522167B ,2014-01-22

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