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一种蚀刻自动检测设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201320394434.5
申请日：
2013-07-02
公开(公告)号：
CN203414418U
公开(公告)日：
2014-01-29
发明(设计)人：
张小龙
申请人：
申请人地址：
215132 江苏省苏州市黄桥镇大庄工业园
IPC主分类号：
G01N2188
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-01-29 | 授权 | 授权 |
| 2018-07-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20130702 授权公告日:20140129 终止日期:20170702 |