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一种硅单晶炉的热场系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110149281.3
申请日：
2011-06-03
公开(公告)号：
CN102212875A
公开(公告)日：
2011-10-12
发明(设计)人：
许大维
徐伟
申请人：
申请人地址：
214265 江苏省无锡市宜兴市芳桥工业集中区
IPC主分类号：
C30B1514
IPC分类号：
C30B2906
代理机构：
江苏圣典律师事务所 32237
代理人：
贺翔
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-11-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101143710207 IPC(主分类):C30B 15/14 专利申请号:2011101492813 申请日:20110603 |
| 2013-09-11 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101656862758 IPC(主分类):C30B 15/14 专利申请号:2011101492813 申请公布日:20111012 |
| 2011-10-12 | 公开 | 公开 |