用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022573150.5

申请日：

2020-11-10

公开(公告)号：

CN213507173U

公开(公告)日：

2021-06-22

发明(设计)人：

唐莲金诚明祝海生孙桂红黄乐黄国兴

申请人：

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市九华经济区盛世路8号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262

代理人：

安曼

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜机隔断装置 [P].

林萍 ;

胡三玲 .

中国专利 :CN218262721U ,2023-01-10

[2]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN209537612U ,2019-10-25

[3]

磁控溅射镀膜机 [P].

崔娜 ;

朱辉 ;

闫丽娜 ;

张卫 ;

康林杰 ;

郄奕 .

中国专利 :CN205258594U ,2016-05-25

[4]

磁控溅射镀膜机 [P].

李衍辉 ;

孙欲晓 ;

马风尘 ;

郭宝昆 .

中国专利 :CN222043332U ,2024-11-22

[5]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658220U ,2013-01-09

[6]

磁控溅射镀膜机 [P].

佘鹏程 ;

龚俊 ;

毛朝斌 ;

罗超 .

中国专利 :CN304096205S ,2017-04-05

[7]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐琛 .

中国专利 :CN213708464U ,2021-07-16

[8]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN110616406A ,2019-12-27

[9]

磁控溅射镀膜机 [P].

王长梗 .

中国专利 :CN306053581S ,2020-09-15

[10]

磁控溅射镀膜机 [P].

李青 ;

李赫然 ;

潘宁 ;

王升 ;

杨涛 ;

刘敏 ;

罗靖 ;

陈金龙 ;

刘春元 .

中国专利 :CN222975274U ,2025-06-13

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