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一种半导体切割研磨水的微孔过滤系统及微孔过滤工艺
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010028195.6
申请日：
2020-01-10
公开(公告)号：
CN111204844A
公开(公告)日：
2020-05-29
发明(设计)人：
袁小贵
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区光明高新园西区7号侨德科技园C栋101
IPC主分类号：
C02F144
IPC分类号：
C02F10334
代理机构：
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人：
诸炳彬
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-29 | 公开 | 公开 |
| 2020-06-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C02F 1/44 申请日:20200110 |
| 2022-12-02 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C02F 1/44 申请公布日:20200529 |