一种硬质薄膜残余应力测试仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200820010152.X

申请日：

2008-01-11

公开(公告)号：

CN201163222Y

公开(公告)日：

2008-12-10

发明(设计)人：

李家宝华伟刚孙超赵升升宫骏杜昊王启民

申请人：

申请人地址：

110016辽宁省沈阳市沈河区文化路72号

IPC主分类号：

G01L100

IPC分类号：

G01B11255 G01N1904

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

张志伟

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-03-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101411718315 IPC(主分类):G01L 1/00 专利号:ZL200820010152X 申请日:20080111 授权公告日:20081210 终止日期:20120111
2008-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

薄膜应力测试仪 [P].

赵升升 ;

程毓 .

中国专利 :CN203688116U ,2014-07-02

[2]

薄膜应力测试仪及其测试方法 [P].

唐永炳 ;

蒋春磊 ;

焦国华 ;

鲁远甫 .

中国专利 :CN107219030B ,2017-09-29

[3]

锚索残余应力智能测试仪 [P].

秦路 ;

潘晓明 ;

刘传顺 ;

鲁菲 ;

齐晓辰 ;

杨雪 .

中国专利 :CN214843749U ,2021-11-23

[4]

一种测试薄膜残余应力及其沿层深分布的方法 [P].

孙超 ;

赵升升 ;

华伟刚 ;

宫骏 ;

杜昊 ;

王启民 ;

李家宝 .

中国专利 :CN1793842A ,2006-06-28

[5]

应力测试仪 [P].

李贞雄 ;

石超 ;

张朝龙 .

中国专利 :CN210719913U ,2020-06-09

[6]

一种应力测试仪 [P].

曹全 .

中国专利 :CN209264168U ,2019-08-16

[7]

光路折返装置及薄膜应力测试仪 [P].

张小波 ;

赵升升 ;

高为民 ;

梁凯 .

中国专利 :CN205157088U ,2016-04-13

[8]

双层薄膜残余应力测试结构 [P].

李伟华 ;

王雷 ;

张晓强 ;

周再发 ;

刘海韵 ;

孙超 .

中国专利 :CN103439031A ,2013-12-11

[9]

一种残余电压测试仪 [P].

王粤威 ;

胡永乐 ;

王霄 ;

葛亮 ;

袁治中 ;

司永杰 .

中国专利 :CN205786821U ,2016-12-07

[10]

页岩残余气量测试仪 [P].

鲁冲 .

中国专利 :CN204988934U ,2016-01-20

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