用于等离子体处理设备的下电极组件和等离子体处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911274926.9

申请日：

2019-12-12

公开(公告)号：

CN112992634A

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

吴磊叶如彬陈龙宝李振中徐晓磊朱文龙

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

张妍;周乃鑫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	公开	公开
2021-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20191212

共 50 条

[1]

用于等离子体处理设备的下电极组件和等离子体处理设备 [P].

吴磊 ;

魏强 ;

叶如彬 ;

洪韬 ;

张一川 ;

廉晓芳 ;

黄允文 .

中国专利 :CN112863983A ,2021-05-28

[2]

等离子体处理设备及用于等离子体处理设备的下电极组件 [P].

范光伟 ;

吴狄 ;

徐朝阳 .

中国专利 :CN112928007A ,2021-06-08

[3]

用于等离子体处理设备的射频电极组件和等离子体处理设备 [P].

苏宜龙 ;

左涛涛 ;

陈妙娟 .

中国专利 :CN112185787A ,2021-01-05

[4]

等离子体处理设备和用于等离子体处理设备的电极构件 [P].

岩井哲博 .

中国专利 :CN101853769B ,2010-10-06

[5]

下电极组件及等离子体处理设备 [P].

田宁 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN120149245A ,2025-06-13

[6]

下电极组件及等离子体处理设备 [P].

田宁 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN119170554A ,2024-12-20

[7]

下电极组件及等离子体处理设备 [P].

田宁 ;

叶如彬 .

中国专利 :CN119170554B ,2025-07-08

[8]

下电极组件及等离子体处理设备 [P].

梁玲 ;

谢海波 ;

张志雄 ;

李刚 ;

张栋 .

中国专利 :CN213936112U ,2021-08-10

[9]

等离子体屏蔽组件和等离子体处理设备 [P].

林垠赞 ;

柳海永 ;

李殷守 ;

朴瑄昱 ;

张容文 ;

朴炫九 ;

李在龙 .

韩国专利 :CN222705440U ,2025-04-01

[10]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

菅井秀郎 ;

井出哲也 ;

佐佐木厚 ;

东和文 ;

中田行彦 .

中国专利 :CN1670912A ,2005-09-21

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