气相外延方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011360606.8

申请日：

2020-11-27

公开(公告)号：

CN113013024A

公开(公告)日：

2021-06-22

发明(设计)人：

C·瓦赫特 G·凯勒 D·富尔曼

申请人：

申请人地址：

德国海尔伯隆

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

H01L2102 C30B2514 C30B2516 C30B2940 C30B2942

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	公开	公开
2021-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 申请日:20201127

共 50 条

[1]

气相外延方法 [P].

G·凯勒 ;

C·瓦赫特 ;

T·维尔茨科夫斯基 .

中国专利 :CN113013023A ,2021-06-22

[2]

气相外延方法 [P].

G·凯勒 ;

C·瓦赫特 ;

T·维尔茨科夫斯基 .

德国专利 :CN113013023B ,2024-07-02

[3]

气相外延方法 [P].

C·瓦赫特 ;

G·凯勒 ;

D·富尔曼 .

德国专利 :CN113005520B ,2024-02-20

[4]

气相外延方法 [P].

C·瓦赫特 ;

G·凯勒 .

中国专利 :CN113005521B ,2021-06-22

[5]

气相外延方法 [P].

C·瓦赫特 ;

G·凯勒 ;

D·富尔曼 .

德国专利 :CN113013024B ,2024-03-15

[6]

气相外延方法 [P].

C·瓦赫特 ;

G·凯勒 ;

D·富尔曼 .

中国专利 :CN113005520A ,2021-06-22

[7]

气相外延方法 [P].

C·瓦赫特 ;

G·凯勒 ;

T·维尔茨科夫斯基 ;

D·富尔曼 .

德国专利 :CN113005514B ,2024-04-02

[8]

气相外延方法 [P].

C·瓦赫特 ;

G·凯勒 ;

T·维尔茨科夫斯基 ;

D·富尔曼 .

中国专利 :CN113005514A ,2021-06-22

[9]

气相外延装置和气相外延方法 [P].

左然 ;

徐永亮 ;

刘自强 .

中国专利 :CN102181923A ,2011-09-14

[10]

气相外延系统 [P].

J·曼古姆 ;

W·E·奎恩 ;

E·阿莫 .

中国专利 :CN102171795A ,2011-08-31

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